[19a-H112-1~8] 15.1 バルク結晶成長

[19a-H112-6] IR-FZ法によるシリコンの結晶育成における回転楕円鏡の傾斜効果

〇綿打 敏司¹、ホサイン エムディー　ムクタール¹、長尾 雅則¹、田中 功¹ (1.山梨大院クリスタル研)

キーワード：赤外線加熱浮遊帯溶融法、シリコン、結晶育成

赤外線集中加熱浮遊帯溶融法によるシリコン単結晶の育成における回転楕円面鏡の傾斜効果について調べた。回転楕円面鏡の傾斜によって溶融帯が安定化され、育成結晶の大口径化が難しいこの方法でφ45までの大口径化に成功した。溶融帯の界面形状を調べた結果、界面形状に目立った変化はなく、界面の凸度なども一定であった。