[19a-H121-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-H121-8] 3次元逆格子空間マップ解析による周期溝SiC基板上AlN厚膜の微視的結晶構造評価

〇鎌田 祥平¹、竹内 正太郎¹、ディンタン カン¹、三宅 秀人²、平松 和政²、今井 康彦³、木村 滋³、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.三重大院工、3.JASRI/ SPring-8)

キーワード：３次元逆格子マップ、窒化物半導体、X線マイクロ回折

我々は、X 線マイクロ回折法を用いた3次元逆格子空間マップ解析により、周期溝加工基板上の窒化物半導体厚膜に対して、周期溝やナノボイド等の特異構造が誘発する局所領域の歪や格子面傾斜・回転等の定量的評価手法を確立してきた。今回、我々は3次元逆格子空間マップ解析によるSiC基板上におけるAlNの格子面傾斜・回転評価を行った。本報告では、特異構造の結晶格子形態に及ぼす効果および下地基板構造の影響を議論する。