[19a-P2-1~24] 12.1 作製・構造制御

[19a-P2-19] 新規感光性親撥材料による基材表面の親液性・撥液性制御

〇田中 健朗¹、浜口 仁¹、栗山 敬祐¹ (1.JSR)

キーワード：表面処理、撥水、プリンテッドエレクトロニクス

近年プリンテッドエレクトロニクス技術が従来のフォトリソグラフィー工程に替わる高生産性かつ低コストのデバイス形成プロセスとして注目されている。その中で金属インクなどによる配線印刷においては細線化が重要な課題となる。我々はこの課題を改善するため、印刷アシスト可能な親液性・撥液性パターンを有する下層膜をマイルドな露光条件で形成する新規感光性親撥材料を開発した。その特性について報告する。