[19a-P2-1~24] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[19a-P2-4] Rare-metal vapor integration based on metal-atom desorption from low-Tg polymer surface

〇Riku Ou¹, Tsuyoshi Tsujioka¹ (1.Osaka Kyoiku Univ.)

Keywords:vapor deposition,glass-transition temperature,Rare-matal

低Tg有機膜表面において、蒸着時の表面分子運動により金属原子が離脱現象を起こすことが知られている。この離脱現象を利用すれば、金属原子の集積蒸着が可能となる。集積蒸着では蒸着ロスがなくなり、希少金属を効率的に蒸着することが期待できる。今回、低TgをもつPDMSを用いて希少金属であるInの集積蒸着を試み、極めて高効率の蒸着に成功した。