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[19a-P4-30] トップエミッション型有機EL素子向け新規Al合金アノード電極
キーワード:有機EL、反射電極、Al合金
トップエミッション型有機ELで反射電極は重要な材料の一つであり、主にITO/Ag合金/ITO電極が使われている。ディスプレイの大型化に伴い、安価なAlの使用が求められているが、ITO/Al電極では、Al薄膜表面の酸化膜により抵抗が増大し、駆動電圧の上昇することが問題である。そこで、Al-Ni-Cu-La薄膜に対して、熱処理後にアルカリ洗浄を行うことで、Ag合金電極と同等の低閾値駆動を示した。