[19a-S223-1~13] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

△ [19a-S223-7] Numerical analysis of focal position dependence of laser-based soft-error simulation
employing two-photon absorption process

〇HIROAKI ITSUJI^1,2, DAISUKE KOBAYASHI^1,2, KAZUYUKI HIROSE^1,2 (1.Univ. Tokyo, 2.ISAS/JAXA)

Keywords:soft error,device simulation,two photon absorption

ソフトエラーが顕在化している. ソフトエラーは, 放射線が生成した電荷が過渡電流となり, 集積回路を流れることで生じる. ソフトエラーが起こるか否かは, 過渡電流のパルス幅等で決まる. それは二光子吸収型パルスレーザ照射法で調べられる. その方法では, 焦点位置のみに電荷を生成できる. 前回, デバイスの深さ方向に焦点位置を動かし, そのときのパルス幅を報告した. 今回, そのシミュレーションを報告する.