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[19a-W810-2] 厚膜化 Gated Silicon Drift Detector の有効面積の拡大
キーワード:半導体、Gated Silicon Drift Detector、X線検出素子
当研究室ではSDDとは構造の異なるGated Silicon Drift Detector (GSDD) を提案している。前回の発表では蛍光X線の吸収率を高める為に 2.5 mm の厚膜化を行ったが、素子の有効面積が受光面積の50%以下になることが分かった。そこで、今回は有効面積を拡大する方法を検討した。
GSDDの新構造を提案し、シミュレーションを行った結果良好な電位勾配が得られた。
GSDDの新構造を提案し、シミュレーションを行った結果良好な電位勾配が得られた。