[19a-W834-1~11] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19a-W834-2] B,P同時ドープシリコンナノ結晶のエネルギー準位構造(Ⅱ)

〇堀 祐輔¹、加納 伸也¹、杉本 泰¹、今北 健二¹、藤井 稔¹ (1.神戸大院工)

キーワード：ナノ結晶、シリコン、X線光電子収量分光

我々はSiナノ結晶にBとPを同時にドーピングすると、エネルギー準位構造や化学的性質が大きく変化することを見出した。これまでB,P同時ドープSiナノ結晶のエネルギー準位構造に関する研究を行い、ドーピングしていないSiナノ結晶と異なるエネルギー準位を持つことを解明した。今回はX線光電子分光(XPS)を用いて価電子帯スペクトルを測定し、フェルミ準位や価電子帯状態密度のサイズ依存性を明らかにすることを目的に研究を行った。