[19p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

△ [19p-H103-3] 高配向NVセンター デルタドープ薄膜の形成

〇石綿 整^1,2、田原 康佐^1,2、小澤 勇斗^1,2、岩崎 孝之^1,2、波多野 睦子^1,2 (1.東工大、2.CREST)

キーワード：NVセンター、デルタドープ、CVD 合成