[19p-H112-1~15] 15.1 バルク結晶成長

[19p-H112-7] 金属元素ドープLiTaO₃基板の表面弾性波特性評価

〇杉山 正史¹、寺島 彰¹、梶ヶ谷 富男¹、飯田 潤二¹、宇田 聡²、橋本 研也³ (1.住友金属鉱山、2.東北大金研、3.千葉大院工)

キーワード：LiTaO3、金属元素ドープ、SAW速度

金属元素をドープしたLT単結晶をチョクラルスキー法により育成し、基板表面を伝搬する表面弾性波の速度を変化させることを試みた。基板上にSAW共振子を作製して周波数特性を測定することにより表面弾性波速度を評価した結果について述べる。