[19p-H113-1~9] 6.5 表面物理・真空

[19p-H113-4] Si/Si間摩擦のその場高分解能電子顕微鏡観察

〇音田 光一¹、福田 めぐみ²、木塚 徳志³ (1.筑波大院数理、2.日工大、3.筑波大物質)

キーワード：摩擦、シリコン、透過電子顕微鏡法

その場高分解能電子顕微鏡法を用いてSi/Si間摩擦の過程を観察した。測定結果から、摩擦力と摩擦係数を見積もった。