[19p-H116-1~14] 3.1 光学基礎・光学新領域

△ [19p-H116-13] 電子線照射によるウルトラファインバブルの高分解能イメージング

〇(M1)原 直渡¹、福田 真大¹、居波 渉^1,2、川田 善正^1,2、小林 秀彰³、前田 重雄³、藤田 俊弘³ (1.静岡大工、2.静岡大電研、3.IDEC株式会社)

キーワード：ウルトラファインバブル、超解像顕微鏡

200 nm以下に多く分布するウルトラファインバブル（UFB）とよばれる気泡の観測を行った．
本手法は液中に集束した電子線を照射し，高い分解能でCL像と反射電子像を同時取得できる．
CL像中には1 μm程度の円形像が複数見られた．反射電子像ではCL像中の円形像と同位置で信号量の低下が見られた．
空気は強いCLを発することが知られている．また，空気は水と比較して反射電子を返しにくい．よって，基板に付着したUFBが観測できたと考える．