[19p-H121-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-H121-9] 規則配列AlGaNナノコラムを用いた発光デバイスの作製

〇吉田 純¹、加納 達也¹、松井 祐三¹、宮川 倫¹、榊原 直樹¹、岸野 克巳^1,2 (1.上智大理工、2.上智ナノテク)

キーワード：窒化物半導体、AlGaNナノコラム