[19p-H137-1~17] 7.1 X線技術

[19p-H137-11] 波長4.0nm用軟Ⅹ線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

〇江島 丈雄¹、羽多野 忠¹、近藤 芳希²、小野 祐一²、ヂン タンフン²、東口 武史² (1.東北大多元研、2.宇都宮大)

キーワード：水の窓、反射多層膜、軟X線顕微鏡

「水の窓」波長域（λ=2.3 nm ～ 4.5 nm）で動作する軟Ⅹ線顕微鏡においてより大きなスループットを実現するために、新たに照明光学系用トロイダル鏡の開発を行なっている。反射波長4.0 nm、NA=0.25、焦点間距離280 mmの条件を満たす反射多層膜を設計した結果、Sc/Crを用いて波長4.0 nmを中心として平均0.32以上となる反射率を示す多層膜が設計できた。発表では、作製結果、評価結果などについても述べる。