[19p-H137-1~17] 7.1 X線技術

[19p-H137-16] レーザー照射ドロップレットの長時間シミュレーション

〇砂原 淳¹、西原 功修²、佐々木 明³ (1.レーザー総研、2.阪大レーザー研、3.原研関西研光量子)

キーワード：半導体リソグラフィー、レーザー生成プラズマ、輻射流体シミュレーション

我々は次世代半導体リソグラフィーに用いる波長13.5nm の EUV 光源の開発を進めている。我々は過去 10 年以上に渡り、一次元及び二次元の放射流体計算コードを開発し、プラズマの解析に用いて来た。これらは非保存形でかかれていたが、二段階照射方式を対象として計算するにあたり、 非保存形スキームの欠点である質量等保存量の非保存性が顕著に解に影響するようになって来た。これに対し、我々は保存形スキームを用いた二温度放射流体コードを開発し、長時間計算でも計算精度を保てるようにした。開発したコードを用いた100nsを超えるレーザー照射されたスズドロップレットのダイナミクス計算を現在行っており、講演では結果の詳細を報告する。