[19p-H137-1~17] 7.1 X-ray technologies

[19p-H137-9] Grating scattered light overlapping with monochromatized soft X-ray at BL-11D, PF

〇Tadashi Hatano¹, Shogaku Aihara¹, Takeo Ejima¹ (1.IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:monochromator,EUV,soft X-ray

光学素子評価ビームラインであるPFのBL-11DではC薄膜の透過率測定でK吸収領域に有限のバックグラウンドが観測されており、回折格子の高次光ではない何らかの不純物成分の存在がわかっている。多層膜ミラーおよび回折格子を試料に用いた分光実験の結果、不純物成分は分光器の回折格子で散乱される120–180 eVの極端紫外線であると特定した。