[19p-P1-1~74] 10 Spintronics and Magnetics（Poster）

[19p-P1-24] Fabrication of quasi-periodic magnonic crystals using metal organic decomposition

〇Kazuma Kunihara¹, Yasuhiko Honji¹, Kazuyuki Nakayama², Satoshi Tomita¹, Nobuyoshi Hosoito¹, Hisao Yanagi¹ (1.NAIST, 2.Fukuoka Univ.)

Keywords:magnonic crystal,quasi-periodic,metal organic decomposition

本研究は、比較的容易で低コストである有機金属分解法(MOD法)によって作製したYIG多結晶薄膜で二次元マグノニック結晶を実現することを目的としている。実験ではシリコン基板にレジスト(GL2000-11)をスピンコートし、電子線リソグラフィ(EBL)で直径4μmのドットパターンを描画した。その後、MOD法によってYIGを成膜し、結晶化させることにより空孔構造を持つ二次元マグノニック結晶を作製することを試みた。