1:30 PM - 3:30 PM
[19p-P1-50] Fabrication and noise-signal measurement of double pinned magnetic tunnel junction
Keywords:Magnetic Tunnel Junction,Sensor,Noise
強磁性トンネル接合(MTJ)センサの低ノイズ化を目指し,フリー層,ピン層の両方に反強磁性層を接合した両ピン構造MTJを作製し,ノイズとシグナルを計測することで磁場分解能を見積もった.測定帯域は生体磁場計測を想定し,0.1~10 Hzの低周波領域で行い,3.3 Hzのシグナル磁場を印加したところ,磁場分解能として2 x 10-4 Oeが得られた.