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[19p-P1-50] 両ピン構造MTJセンサの作製とノイズ・シグナル測定
キーワード:強磁性トンネル接合、センサ、ノイズ
強磁性トンネル接合(MTJ)センサの低ノイズ化を目指し,フリー層,ピン層の両方に反強磁性層を接合した両ピン構造MTJを作製し,ノイズとシグナルを計測することで磁場分解能を見積もった.測定帯域は生体磁場計測を想定し,0.1~10 Hzの低周波領域で行い,3.3 Hzのシグナル磁場を印加したところ,磁場分解能として2 x 10-4 Oeが得られた.