[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-15] ミストデポジション法ITO透明導電膜を用いたタッチセンサの試作

中積 誠¹、〇西 康孝¹、堀 正和¹、林田 洋祐¹、鬼頭 義昭¹、奈良 圭¹、加藤 正紀¹ (1.（株）ニコン)

キーワード：センサー、酸化物半導体