[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-8] オゾンを用いたβ-Ga₂O₃のMBE成長

〇中田 義昭¹、佐々木 公平²、倉又 朗人²、山腰 茂伸²、東脇 正高¹ (1.情通機構、2.タムラ製作所)

キーワード：酸化ガリウム、オゾン、MBE