2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[19p-P3-1~7] 13.3 絶縁膜技術

2016年3月19日(土) 13:30 〜 15:30 P3 (屋内運動場)

13:30 〜 15:30

[19p-P3-7] Research on passivation of semicounductor surfaces by heat treatment in liquid water

元木 孝優城1、中村 友彦1、蓮見 真彦1、鮫島 俊之1、水野 智久2 (1.農工大、2.神奈川大)

キーワード:passivation,semiconductor