[19p-S223-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[19p-S223-10] 70℃希塩酸水溶液中におけるフィルターの除粒子性能評価

〇高倉 知征¹、都築 修一¹ (1.日本ポール)

キーワード：フィルター、半導体、ろ過

半導体洗浄に実際に使用される薬液中でのフィルター性能を評価する一環として、70℃のpH1塩酸中でフィルターの除粒子性能を評価した。試験フィルターは、ろ過精度10 nmの表面改質PTFE膜、および高非対称ポリアリールスルホン膜を使用した10インチタイプのカートリッジフィルターである。評価の結果、これらのフィルターは当該薬液中で有効に機能することがわかった。