[19p-S322-1~14] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[19p-S322-7] Development on a particle number concentration standard in liquid with a simultaneous measurement of the mass of suspension type optical particle counter

〇Takayuki Sakaguchi¹ (1.AIST/NMIJ)

Keywords:liquid-borne particles,particle number standard,uncertainty

液中粒子数濃度測定器は、標準液による校正や試験により信頼性を担保できる。正確さを保証するため、国立研究開発法人産業技術総合研究所では、濃度範囲 5×10² 個/g - 2×10⁶ 個/g、中心粒径範囲2 µm - 20 µm を校正対象とする全数計数型フローサイトメーター(T-FCM)を用いた液中粒子数濃度一次標準を開発し、校正業務を実施しているが、校正粒子中心粒径下限拡張や測定の迅速化のため、T-FCMを用いた方式から液中粒子計数装置を用いた方式に変更すべく質量同時測定型液中粒子計数装置(Simultaneous-Measurement-of-Mass-Type Optical Particle Counter: SMM-OPC)を開発している。