[19p-S423-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [19p-S423-1] ナノインプリント技術を用いた金属-誘電体-金属サブ波長格子の製作

〇満留 将人¹、本間 浩章^1,2、伊藤 伸太郎³、石田 誠¹、澤田 和明¹、高橋 一浩¹ (1.豊橋技科大、2.特別研究員DC2、3.名古屋大学)

キーワード：ナノインプリント、リフトオフ