[19p-W242-1~7] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[19p-W242-2] Substrate temperature dependence of initial stage in thin film growth
affected by polar interactions between substrate and long-chain molecules

〇haruki takeda¹, takahiro abe¹, kenichi horai¹, masanori kamiya¹, ryosuke matsubara¹, atsushi kubono¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:vapor deposition,thin film

有機薄膜デバイスの性能に影響を与える凝集構造を最適化するためには、薄膜形成初期過程を詳細に検討する必要がある。我々は高分解能かつin situ測定が可能な水晶振動子マイクロバランス(QCM) ^[1]を用いて、表面修飾した金基板上における鎖状極性分子の吸着・脱離などの素過程について解析してきた^[2]。本発表では、基板-鎖状極性分子間相互作用が関与する薄膜形成初期の素過程に対して基板温度が与える影響について報告する。