[19p-W242-1~7] 12.1 作製・構造制御

[19p-W242-2] 基板-鎖状分子間極性相互作用が関与する薄膜形成初期における素過程の基板温度依存性

〇竹田 治生¹、阿部 峰大¹、蓬莱 健一¹、神谷 正紀¹、松原 亮介¹、久保野 敦史¹ (1.静大院工)

キーワード：真空蒸着、薄膜

有機薄膜デバイスの性能に影響を与える凝集構造を最適化するためには、薄膜形成初期過程を詳細に検討する必要がある。我々は高分解能かつin situ測定が可能な水晶振動子マイクロバランス(QCM) ^[1]を用いて、表面修飾した金基板上における鎖状極性分子の吸着・脱離などの素過程について解析してきた^[2]。本発表では、基板-鎖状極性分子間相互作用が関与する薄膜形成初期の素過程に対して基板温度が与える影響について報告する。