[20a-H103-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20a-H103-9] 高密度プラズマによる3C-SiC/Si上のダイヤモンド核配向性の向上

〇矢板 潤也^1,2、岩崎 孝之^1,2,3、Natal Meralys⁴、Saddow Stephen⁴、波多野 睦子^1,2,3 (1.東京工業大学、2.CREST、3.ALCA、4.南フロリダ大学)

キーワード：ダイヤモンド