2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[20a-H112-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2016年3月20日(日) 09:00 〜 11:30 H112 (本館)

黒澤 昌志(名大)

10:00 〜 10:15

[20a-H112-5] 繰り返しレーザーアニール法による非晶質GeSn/絶縁膜の非熱平衡成長
ー 過飽和Sn濃度の冷却速度依存性 ー

茂藤 健太1、松村 亮1,2、佐道 泰造1、池上 浩1、宮尾 正信1 (1.九大院システム情報、2.学振特別研究員)

キーワード:GeSn、レーザーアニール