9:30 AM - 11:30 AM
[20a-P1-3] Evaluation of composition dependence for PMN-PZ-PT thin films deposited by combinatorial sputtering method
Keywords:piezoelectric,thin film,combinatorial
バルクセラミックスにおいて高い圧電特性が報告されているPMN-PZ-PTをコンビナトリアルスパッタ法を用いて薄膜化し,その誘電特性,圧電特性を評価した.測定の結果,PMN-PZ-PT組成が(50/20/30)付近で圧電特性が最大で|e31,f|=11~12[C/m2]という大きな値を示し,若干の相違は見られるが同様の組成域で誘電特性も最大となった.