[20a-P1-1~10] 6.1 Ferroelectric thin films

[20a-P1-3] Evaluation of composition dependence for PMN-PZ-PT thin films deposited by combinatorial sputtering method

〇Takuya Teramoto¹, Fumiya Kurokawa¹, Yuichi Tsujiura¹, Hirotaka Hida¹, Isaku Kanno¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:piezoelectric,thin film,combinatorial

バルクセラミックスにおいて高い圧電特性が報告されているPMN-PZ-PTをコンビナトリアルスパッタ法を用いて薄膜化し，その誘電特性，圧電特性を評価した．測定の結果，PMN-PZ-PT組成が(50/20/30)付近で圧電特性が最大で|e_31,f|＝11～12[C/m²]という大きな値を示し，若干の相違は見られるが同様の組成域で誘電特性も最大となった．