[20a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P1-3] コンビナトリアルスパッタ法を用いたPMN-PZ-PT薄膜の組成依存性評価

〇寺元 卓也¹、黒川 文弥¹、辻浦 裕一¹、肥田 博隆¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：圧電、薄膜、コンビナトリアル

バルクセラミックスにおいて高い圧電特性が報告されているPMN-PZ-PTをコンビナトリアルスパッタ法を用いて薄膜化し，その誘電特性，圧電特性を評価した．測定の結果，PMN-PZ-PT組成が(50/20/30)付近で圧電特性が最大で|e_31,f|＝11～12[C/m²]という大きな値を示し，若干の相違は見られるが同様の組成域で誘電特性も最大となった．