[20a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P1-8] β- Ga₂O₃単結晶基板上への(Hf,Zr)O₂薄膜の成長

〇高田 賢志¹、小前 智也¹、木口 拓也¹、野瀬 幸則¹、吉村 武¹、芦田 淳¹、藤村 紀文¹ (1.大阪府大)

キーワード：(Hf,Zr)O2、Ga2O3