[20a-P4-1~71] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[20a-P4-22] Synthesis of graphene using Al₂O₃/Fe catalyst

〇Motonori Nakamura¹, Takumi Hirata¹, Koji Takamura¹ (1.NIT, Asahikawa)

Keywords:Alcohol CVD

Fe系の金属触媒にALD法により数nmの膜厚のAl2O3を被覆することで，グラフェンの生成が促進されることがわかった．本報告では粒子触媒の他に薄膜触媒にもAl2O3薄膜を被覆し，グラフェンの生成条件および品質に与える影響について報告する．