[20a-P4-1~71] 17 ナノカーボン（ポスター）

[20a-P4-22] Al₂O₃/Fe系複合触媒によるグラフェンの生成

〇中村 基訓¹、平田 拓巳¹、篁 耕司¹ (1.旭川高専)

キーワード：アルコールCVD

Fe系の金属触媒にALD法により数nmの膜厚のAl2O3を被覆することで，グラフェンの生成が促進されることがわかった．本報告では粒子触媒の他に薄膜触媒にもAl2O3薄膜を被覆し，グラフェンの生成条件および品質に与える影響について報告する．