[20a-P4-1~71] 17 ナノカーボン（ポスター）

△ [20a-P4-3] ミスト触媒CVD法を用いたCNT成長における塩素ガス効果

〇木下 聖也¹、苅田 基志¹、中野 貴之¹、井上 翼¹、長岡 宏一²、三輪 鉄春²、宮林 孝行² (1.静大院工、2.JNC石油化学)

キーワード：CNT成長、ミスト触媒CVD、塩素ガス

ミスト触媒CVD法において、CNT成長プロセス中に塩素を添加することで、高密度・高配向な長尺MWCNTアレイが合成された。塩素の添加により、CNTの結晶性も向上した。塩素はCNTの成長速度および触媒寿命だけでなく結晶性を向上させる作用をもつことが分かった。さらなる長尺化のため、CNT成長プロセス中の塩素効果について検証した。