2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[20a-P4-1~71] 17 ナノカーボン(ポスター)

2016年3月20日(日) 09:30 〜 11:30 P4 (屋内運動場)

09:30 〜 11:30

[20a-P4-61] SiC 表面上のエピタキシャルグラフェン上へのBN 成長の検討

夏目 拓弥1、村部 雅央1、才田 隆広1、成塚 重弥1、丸山 隆浩1 (1.名城大理工)

キーワード:窒化ホウ素

SiC表面分解法により作製したグラフェン上にCVD法を用いて、BNの直接成長を行うための検討を行った。