[20a-P4-1~71] 17 ナノカーボン（ポスター）

[20a-P4-70] アルミナ薄膜封止による黒リン電界効果トランジスタの安定動作

〇(M2)中西 将毅¹、上野 啓司¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：黒リン、層状物質、電界効果トランジスタ

リンの同素体の一つである黒リンは新たな半導体層状物質として注目されており，その単原子層であるphosphoreneの電界効果トランジスタ（FET）は高い正孔移動度を示す。しかし黒リンの劈開面は大気中では不安定であり，素子応用の上では工夫が必要である。
本研究では，気相成長により合成した黒リン単結晶から機械的剥離により得た薄片をチャネルとしたFETを作製し, パリレンまたはアルミナ薄膜により封止することで，長時間安定動作を試みた。