[20a-P4-1~71] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[20a-P4-70] Stable operation of black phosphorus field effect transistors by alumina thin film encapsulation

〇(M2)Masaki Nakanishi¹, Keiji Ueno¹ (1.Saitama Univ.)

Keywords:black phosphorus,layered material,field effect transistor

リンの同素体の一つである黒リンは新たな半導体層状物質として注目されており，その単原子層であるphosphoreneの電界効果トランジスタ（FET）は高い正孔移動度を示す。しかし黒リンの劈開面は大気中では不安定であり，素子応用の上では工夫が必要である。
本研究では，気相成長により合成した黒リン単結晶から機械的剥離により得た薄片をチャネルとしたFETを作製し, パリレンまたはアルミナ薄膜により封止することで，長時間安定動作を試みた。