[20a-S321-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[20a-S321-2] 電荷敏感型赤外光子検出器(CSIP)における光カプラの研究

〇金 鮮美¹、小宮山 進²、林 冠廷¹、パトラシン ミカイル³、梶原 優介¹ (1.東大生研、2.東大総文、3.情通研)

キーワード：量子井戸、光カプラ

我々は、超高感度テラヘルツ検出器として半導体量子井戸を用いた電荷敏感型赤外光子検出器(CSIP)を開発し、パッシブ型テラヘルツ近接場顕微鏡の検出器として応用している。本研究ではこの顕微鏡応用に重要な10～20 μm波長領域に焦点を当てて、アンテナ構造設計及び光検出特性を評価し、さらにCSIPの量子効率向上の一環として有効的な光入射方向として、GaAs基板側から光を入射する裏面入射を検討する。