[20a-S321-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[20a-S321-9] サブ波長格子を用いたアサーマル波長可変面発光レーザの製作

〇井上 俊也¹、中濵 正統¹、松谷 晃宏¹、坂口 孝浩¹、小山 二三夫¹ (1.東工大)

キーワード：面発光レーザ、高屈折率差サブ波長格子、波長可変レーザ

短距離WDM用光源として低コスト低消費電力な波長可変光源が求められている．一般的なレーザは温度により波長が変化するため，低消費電力のためには温調フリーが重要である．本研究では熱バイモルフ構造を持つ片持ち梁を面発光レーザに導入し梁の機械的な変位により波長変化を打ち消すことを提案し，上部反射鏡として波長以下の微小構造を持つサブ波長格子を用いた波長可変面発光レーザの設計・試作評価について報告する．