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[20a-S422-1] 界面トラップ数の真の値とばらつき，および従来のチャージポンピング理論による値との比較
キーワード：半導体、界面トラップ、チャージポンピング
著者らはこれまで，従来のチャージポンピング（CP）理論の根幹である界面トラップ1個当たりの最大CP電流（ICPMAX）を固定値fq（fはゲートパルス周波数，qは電子電荷）としているのは誤りであり，0～2fqの値をとることを実証してきた．そこで，実際に個々のMOSトランジスタに含まれる界面トラップ数の真の値を求め，そのばらつき，および，従来のCP理論に基づく値との比較を行った．