[20a-S622-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[20a-S622-1] 測定再現性1.8 nmを実現する走査型近接場光顕微計測技術

〇立崎 武弘¹、張 開鋒²、山川 市朗²、谷口 伸一² (1.東海大工、2.日立研開)

キーワード：近接場光学、プローブ顕微鏡、光計測