[20a-W321-1~10] 3.7 レーザープロセシング

△ [20a-W321-1] ガラス内部へのフェムト秒レーザ加工の照射時間と溶融痕サイズの関係

〇松本 葵¹、栗田 一佳¹、玉木 隆幸¹、八幡 恵輔²、大村 悦二³ (1.奈良高専、2.三星ダイヤモンド、3.大阪大学)

キーワード：フェムト秒レーザ、BK7ガラス、発光現象

ガラス内部へのフェムト秒レーザ加工時に形成される溶融痕の観察を行った．溶融領域サイズはレーザ照射時間への依存が少ない結果が得られた．さらに，ガラス内部へのフェムト秒レーザ加工時に発生する発光現象を観察した．この発光現象がレーザ誘起プラズマであるならば，衝突吸収と非共鳴吸収によりエネルギ吸収が増大すると考えられる．よって，発光していない間と比較して発光している間に強い吸収が生じていると考えれば，ガラス内部への加工の主要なプロセスは，2/1000 [s]剃度のごく短い時間で行われていると考えられる．