[20a-W321-1~10] 3.7 Laser processing

△ [20a-W321-3] Application of an annular beam for laser-induced forward transfer (LIFT)

〇Koki Omachi¹, Takahiro Nakamura¹, Shunichi Sato¹ (1.IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:Laser Induced Forward Transfer (LIFT),femtosecond pulsed laser,direct writing

本研究では、LIFTの際にガウスビームよりも小さな集光スポットの形成が期待できる円環ビームを用いることによって、クロムの微小構造物のサイズ低減化を目的とした実験を行った。外径3.2 mm、内径2.2 mmの円環ビームを用いて8 nJのレーザーエネルギーを照射した実験では、最小60 nmのクロムドットが作製された。これは円環ビームによる集光スポットサイズの低減化が寄与しているものと思われる。