[20a-W321-1~10] 3.7 レーザープロセシング

△ [20a-W321-3] レーザー誘起前方転写法への円環ビームの適用

〇大町 弘毅¹、中村 貴宏¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：レーザー誘起前方転写法、フェムト秒パルスレーザー、直接描画

本研究では、LIFTの際にガウスビームよりも小さな集光スポットの形成が期待できる円環ビームを用いることによって、クロムの微小構造物のサイズ低減化を目的とした実験を行った。外径3.2 mm、内径2.2 mmの円環ビームを用いて8 nJのレーザーエネルギーを照射した実験では、最小60 nmのクロムドットが作製された。これは円環ビームによる集光スポットサイズの低減化が寄与しているものと思われる。