[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-H103-13] ナノ構造アモルファスカーボン膜を用いた水分離膜

〇北野 宏樹^1,2、Josue Ortiz-Medine²、Aaron Morelos-Gomez²、林 卓也^2,3、竹内 健司^2,3、藤重 雅嗣³、山口 晃生^1,2、遠藤 守信^2,3 (1.北川工業株式会社、2.信州大学　アクア・イノベーション拠点（COI）、3.信州大学　カーボン科研)

キーワード：アモルファスカーボン膜

本研究では柔軟で透水性のあるナノカーボン膜(アモルファス状の炭素薄膜)の水処理への応用を検討した。ナノカーボン膜の生成方法として、スパッタリングにて成膜した。生成されたナノカーボン膜は、薄膜形状で柔軟性があり、高い透水性を有する結果が得られた。