[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20p-H103-15] トリメチルボラジンからのa-BCN膜の作製

〇河越 奈沙¹、山本 哲也²、中野 雅之³、岩本 喜直⁴、松尾 誠⁴、稗田 純子¹、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大、2.日本触媒、3.東京高専、4.i-Motto)

キーワード：アモルファスBCN膜、トリメチルボラジン、硬さ

アモルファス窒化ホウ素炭素(a-BCN)膜中への効率的なN原子の導入には原料分子中にNを導入することが有効と考えられる．本研究ではトリメチルボラジンを用い，a-BCN膜をプラズマCVD法により作製し，XPS法により組成をナノインデンテーション試験により機械的特性を評価した．原料中のNとBの原子濃度は同じだが，膜中の組成ではNの比率が低下した．硬さは1.06 GPaと軟らかく，膜中の一部のBがB-B結合やOと結合したことが原因と考えられた．