[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-H103-18] 光電子分光法を用いたN-doped a-Cの電荷状態の解析

〇(D)村田 悠馬¹、市原 文彦¹、中山 廉平¹、小野 洋¹、チュウ チャオキョン²、桑原 大介¹、田中 勝己¹ (1.電通大先進理工、2.電通大国際交流)

キーワード：アモルファスカーボン、ダイヤモンドライクカーボン、窒素ドープ