[20p-P13-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20p-P13-12] スパッタ法による窒素ドープFeSi₂薄膜の作製とその電気特性

馬場 隆司¹、岸本 紘宗¹、〇吉武 剛¹ (1.九州大学総理工)

キーワード：鉄シリサイド、窒素添加、ナノ微結晶

ナノ微結晶FeSi₂に対して窒素添加を行い，電気特性および光学特性に及ぼす効果を調べた．